
वेफर मोटाई नापने का यंत्र
वेफर मोटाई मापने वाला उपकरण WTM{0}}B का उपयोग मोम हटाने से पहले या बाद में वेफर्स की मोटाई मापने के लिए किया जाता है; चूंकि सिरेमिक सब्सट्रेट की समतलता 1um से कम है, इसलिए इसे एकल वेफर को मापते समय एक अच्छे संदर्भ के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है; डब्ल्यूटीएम-576बी के पास बिंदु-से-बिंदु माप के लिए फ्रेम का एक और सेट है, जिसका उपयोग वेफर टीटीवी को मापने के लिए किया जा सकता है। मापने वाले उपकरण के सिरेमिक सब्सट्रेट की पॉलिश सतह वेफर या सिरेमिक प्लेट को वेफर के पीछे खरोंच पैदा किए बिना सब्सट्रेट पर आसानी से चलने में सक्षम बनाती है। साथ ही, सिरेमिक सब्सट्रेट की स्थिरता और पहनने का प्रतिरोध इसे नीलमणि और सीआईसी वेफर जैसी सुपर हार्ड सामग्री की माप के लिए भी लंबे समय तक स्थिर और विश्वसनीय बनाता है।

सिरेमिक प्लेट पर वेफर्स को मापना

एकल वेफर मापना

बिंदु संपर्क वेफर मोटाई गेज
बिंदु संपर्क वेफर मोटाई गेज वेफर की मोटाई मापने के लिए है, वेफर्स का बिंदु से बिंदु संपर्क मापने के परिणाम को अधिक सटीक बनाता है क्योंकि यह मापने की मेज या मापने की जांच के साथ वेफर की सतह के संपर्क के कारण होने वाली माप त्रुटियों से बचता है। मापने के दौरान वेफर को खरोंच या धातु आयन संदूषण से बचाने के लिए, सभी वेफर संपर्क भागों को पीक द्वारा बनाया जाता है।
टीजी-तीन फीट की वेफर मोटाई गेज
टीजी श्रृंखला वेफर मोटाई गेज सिरेमिक प्लेट पर बंधे वेफर्स की मोटाई मापने के लिए है, यह हल्का, स्थिर और उपयोग में आसान है, टीजी गेज विभिन्न आकारों के वेफर्स को मापने के लिए उपलब्ध है।

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